소형 계측장비

R-tep / RSPM

낙진성 / 표면 이물 검출 및 계측 가능한 Vision Inspection 장비를 다룹니다.

장비에 대한 국내 특허 2건 보유

R-Tep™ (Real-Time Equipment Particle Detector)

세싱에 없었던 낙하성 이물 실시간 검출기

- 설비 예방 보전 (Preventive maintenance) 지원

- 실적으로 입증된 제품 (Samsung, SK Hynix, LG 등 30여개 고객사)

- 출시 6개월 내 World Class Major 고객 감동 실현

주요 특징

- 5㎛↑ 이물 측정, Size classification 기술, 정확도 90% 이상

- 제품 수율 관리 혁신

Image 정보 제공, 누적 검출, Alarm 설정

- 간단한 조작법 및 Data View

종래 기술인 APC 방식에서 벗어난 VIsion 기반 낙하성/표면 이물 계측 장비

- Real 표면 먼지 Mangement Tool

- 표면 먼지 직/간접 측정

- 설비 PM 관리, 세정부품 검사, 원자재 IQC, OQC, 각종 Engineering

주요 특징

- 0.5㎛↑이물 측정, 10 Class 검출 Size 사용자 Custom, 정확도 95% 이상

- Recipe 설정 및 DATA log 관리

- 간편한 휴대성, 조작성

샘플 측정용 Film 별도 제작 판매 중

- 직접 측정이 어려운 대상으로부터 attack 없이 샘플링

- 높은 점착력으로 낙하성 이물 포집 후 환경 현상 파악에 용이

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